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"一位友商伙伴的技术代表负责人发言道：“获取波长135纳米的光是实现euv光刻的一个重要步骤，激光等离子体极紫外光源由于其功率可拓展的特性，成为了极紫外光刻最被看好的高功率光源解决方案。”“但时间表延后有两大原因，一是所需要的光源功率暂时还无法达到250瓦的工作功率需求，二是光学透镜、反射镜系统对于光学精度的要求极高，生产难度极大，难以支撑庞大的研发费用。”听到这话罗晟笑了，原来是有难处啊，而且这个难处直指小钱钱的问题。罗晟笑道：“这个两个原因可以归结为一个原因，...
